Kommentar von Thomas Wipprecht, CEO SIEGERT WAFER
Sensorik ist selten ein reines Elektronikthema. Sie ist eine Material-, Oberflächen- und Grenzflächenfrage. Welche Leitfähigkeit braucht das Substrat? Wie homogen muss die Dicke sein? Welche Rauheit ist akzeptabel? Wird Licht geführt, reflektiert oder absorbiert? Muss das Bauteil mechanisch entkoppelt, elektrisch isoliert oder chemisch beständig sein? Solche Fragen gehören an den Anfang der Entwicklung, nicht ans Ende.
In vielen Entwicklungsprojekten wird der Wafer zunächst wie ein austauschbarer Träger behandelt. Das rächt sich spätestens dann, wenn Prototypen funktionieren, die Serie aber streut. Gerade in der Medizintechnik und bei anspruchsvoller Sensorik sind Materialeigenschaften keine Nebensache. Dotierung, Kristallorientierung, Widerstand, Dicke, Oberflächenqualität und Beschichtung beeinflussen das Verhalten des späteren Bauteils direkt.
Das Substrat ist kein Standardteil
Silizium bleibt dabei das Arbeitspferd: gut beherrschbar, prozesskompatibel und geeignet für MEMS-Strukturen, Drucksensoren, Mikrofluidik-Komponenten oder elektrochemische Sensorplattformen. Für Anwendungen mit besonders hohen Anforderungen an Isolation, Temperaturstabilität und optische Eigenschaften kommen jedoch andere Substrate ins Spiel: Glas, Quarz, Fused Silica, Borofloat, Saphir oder SOI-Wafer.
Sensorik braucht kontrollierte Grenzflächen