3D-Oberflächenmessung in Hochgeschwindigkeit durch konfokale Rastermikroskopie
Verfasser: pr-gateway on Tuesday, 21 April 2020Ein neues Verfahren liefert bei Messungen mit der konfokalen Rastermikroskopie eine 3-dimensionales Bild. Dadurch können Messungen erheblich beschleunigt werden.
Optische Oberflächenmessverfahren zur Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen eignen sich sehr gut für die Beurteilung von Oberflächen. Diese Messverfahren werden daher bevorzugt eingesetzt bei berührungslosen optischen Messungen in automatisierten Testverfahren oder im Bereich der Qualitätssicherung.
Am Lehrstuhl für Interaktive Echtzeitsysteme des Karlsruher Instituts für Technologie wurde nun ein neues Verfahren entwickelt, das bei Messungen mit der konfokalen Rastermikroskopie eine 3-dimensionales Bild liefert. Dadurch können Messungen erheblich beschleunigt werden. Im Vergleich zu herkömmlichen Messsystemen wird die Scangeschwindigkeit bei nur geringfügig reduzierter Auflösung um den Faktor hundert erhöht.